廣州潽拓光電科技有限公司——varian真空機組維修
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多級羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種,在美日等國家較多的應用與半導體及化工行業(yè)。它的“多級”是相對于傳統(tǒng)的一個轉子的“單級”羅茨真空泵而言,形式上多個轉子串聯(lián),中間由中間壁隔離形成多個相對獨立的泵腔,各級泵腔通過各級的進氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級轉子的直徑和形狀是相同的,但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話高壓側方會變窄。真空機組維修
是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高;或者兩者兼而有之,需要耐心觀察和記錄,從中找出故障原因,比如,抽空時間相同,而真空度偏低,這時候,關閉高壓閥,如真空計指針很快下降,多數(shù)情況是真空室漏了,應先查出漏點。如真空計指針下降很慢,多數(shù)情況是真空機組抽氣能力不夠,這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上,看是哪里出現(xiàn)了泄漏,或是擴散泵油被污染了,氧化了等;或是前級管路密封不好,泵油不足;或是泵有油乳化,軸封漏油,閥片損壞等故障。真空機組維修
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軸承
主軸軸承對泵的使用壽命至關重要。逐漸磨損可能使軸的位置發(fā)生輕微的變化,直到螺釘或轉子之間,或葉輪和泵殼之間發(fā)生摩擦。這將導致光斑發(fā)熱,可以通過觸摸檢測到。軸承突然失效通常更為嚴重。由于葉輪軸組件不再有支撐和正確的位置,在軸承失效后,很可能立即發(fā)生對殼體和齒輪的廣泛的一般損壞。磨損的跡象是過度或異常的噪音,過熱的軸承,或過熱的套管由旋轉葉輪與套管內(nèi)部接觸引起的摩擦。瓦里安分子泵電源維修
二、更換油和密封件
分子泵的油和密封件也是保養(yǎng)的重要部分。油的質量和密封件的狀態(tài)會直接影響分子泵的性能和壽命。因此,定期更換油和密封件是非常必要的。瓦里安分子泵電源維修
更換油時,需要先將泵內(nèi)的油排出,然后用清潔劑和軟布擦拭泵內(nèi)壁和葉輪。然后再加入新的油,確保油面高度正常。更換密封件時,需要先將泵內(nèi)的油排出,然后拆下密封件,清洗并更換新的密封件。注意更換密封件時,需要按照廠家的要求進行操作,以免影響泵的性能和壽命。瓦里安分子泵電源維修
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1、 分子泵的安裝方式:
a、 避免分子泵與所連接設備直接產(chǎn)生應力;
b、 分子泵的可維護性和方便保養(yǎng);真空泵維修服務公司
c、 分子泵的排氣口要朝下,防止冷凝物堵塞;
d、 分子泵的排氣口不要正對前級泵的進氣口;
e、 分子泵和前級泵之間根據(jù)工藝氣體而安裝合適的過濾器;
f、 在前級旋片泵的出口安裝冷凝回油裝置;真空泵維修服務公司
g、 分子泵運行時,一定要開啟分子泵的冷卻水,分子泵停止時關閉
電機、真空泵運異常。電機超負荷運轉、真空泵在運轉中異常雜音、噪聲、轉動困難或發(fā)生“卡死”現(xiàn)象。
1.真空泵溫太高,可參照1款(1)項處理。
2.彈簧變形或斷裂,使旋片受力不均勻而發(fā)出沖擊聲。解決方案:更換彈簧。
3.裝配不當,造成單面磨損。解決方案:重新裝配。
4.過濾網(wǎng)損壞,金屬屑、玻璃屑等落入真空泵內(nèi),使運轉發(fā)生障礙。解決方案:拆真空泵檢查、清除碎屑,修復或更換磨損部件,并裝好過濾網(wǎng)。
5. 真空泵腔內(nèi)污染嚴重,導致零件銹蝕。解決方案:拆真空泵請洗,去除銹斑,并換油。
真空泵由于某種原因引起電動機超負荷運轉,甚至轉不動,真空泵維修服務公司,通常習慣上把這種現(xiàn)象就叫“卡死”真空泵發(fā)生卡死的原因是:彈簧損壞,使旋片受力不勻;裝配不當,使某局部受力;真空泵維修服務公司,由于進氣口的濾網(wǎng)丟失或損壞,使外部臟物,金屬屑、玻璃屑等落入泵腔內(nèi)。此外,泵轉子、旋片端面與端蓋間的間隙過小,摩擦發(fā)熱使旋片伸長或過熱過緊的摩擦加之旋片硬度過大,與毛刺互相碾括,使端面產(chǎn)生深劃痕,后燒結卡死。真空泵維修服務公司
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